氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦质谱检漏法与泡检漏法、压强衰减法和卤素检漏法相比，除检漏原理不同以外，还具有监测灵敏度高，速度快、适用范围广，探索气体无毒性、无破坏性、质量轻等优点，是诸多检漏法中有效的方法。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

科创真空专业生产氦质谱检漏仪，如您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询！

氦质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分

氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的操作方法，希望对大家有所帮助。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小1。

三．氦质谱检漏仪在压力容器中的常用方法

在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸枪法（正压法），氦罩法。的制造商必须确保产品至少可以维持20年的隔热功能，以确保发电厂持续正常地运转。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。

氦罩法

这种方法使用一个检漏罩（塑料薄膜等）把被检容器包起来，先排除罩内空气，然后充入氦气或氦气的混合气体，检漏仪与被检容器内部连接，当检漏仪有漏率显示时，说明有泄漏。这个漏率称为总漏率。（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。总漏率为各个分漏率之和；总漏率不超标准值，则各个分漏率也不超标准值；总漏率超过标准值，则检查各个点的分漏率是否超过标准值。然后再对超过标准值的漏孔进行修补，直至达到合格标准为止。

大型压力容器在检漏时，经常使用辅助真空系统（辅助真空系统----有真空机械泵+增压泵，真空管道，三通，真空计，真空阀门，放气阀门等组成）来进行预抽真空，真空度达到一定值时，关闭辅助真空系统，或使用真空切换阀，再开启检漏仪来进行检漏。

高压开关检漏——氦质谱检漏仪

高压电器行业提出的《生产63kv及以上GCB与GIS的必备条件》提出了产品符合技术条件和安全性。光无源器件对密封性的要求极高，如果存在泄漏会影响其使用性能和精度，光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar。高压开关设备使用SF6气体作为绝缘灭弧的介质，产品要求开关内部的SF6气体泄漏量要小，也就是要很好的密封性。所以再生产过程中就要对部件以及出厂整机做检漏，高压电器采用的氦质谱检漏仪的氦质谱法比较方便，易操作，检漏效果也得到认同。

卤素检漏仪检漏是过去常用的方法，由于灵敏度低，难免发生泄漏和误检，使总装后的产品气密性达不到要求，导致返工，不但浪费了人力物力，也耽搁了生产周期。由于采用了氦质谱检漏仪弥补了传统检漏的不做，同时可以检漏漏点和漏率。

氦质谱检漏仪的检漏方法根据被检工件的情况而定的：

1.对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦，同时观察漏率显示，一大增大，就说明工件不合格。

2.对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。氦质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。先用辅助抽空系统抽至5Pa以下，关掉抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏率超过值即为不合格。

3.对于分装或总装，采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体，利用吸枪在被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。

安徽诺益科技有限公司是一家专业从事氦质谱检漏仪、氦检漏真空箱及回收系统的研发、生产及销售为一体的专业型高科技企业。与保温壶的真空保温原理类似，采用了阳光传输率高的特殊玻璃，并在两根管道上使用了特殊涂层，从而显著减少辐射及传送中的损耗。自成立以来严格执行产品国际标准、及行业标准，应用现代经营理念与管理手段，拥有强大的技术支持和先进的生产与检测设备，精心制造出稳定性好、效率快和功能齐全的NOY品牌高精仪器产品。